대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

PMMA 마이크로 몰드를 이용한 PDMS 마이크로 렌즈의 제작

A fabrication of PDMS micro lens using PMMA micro mold

  • 김일영 (순천향대 전자정보공학과) ;
  • 민상홍 (순천향대 전자정보공학과) ;
  • 김현수 (순천향대 전자정보공학과) ;
  • 윤태욱 (순천향대 전자정보공학과) ;
  • 김창교 (순천향대 전자정보공학과)
  • Kim, Il-Young (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
  • Min, Sang-Hong (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
  • Kim, Hyun-Su (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
  • Kim, Chang-Kyo (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
  • Yun, Tae-Uk (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University)
  • 발행 : 2011.07.20
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초록

마이크로 렌즈를 제작하기 위해 PMMA 몰드를 PMMA 용액을 MEMS 기술을 이용하여 제작한 실리콘 마이크로 홀 어레이에 PMMA 용액을 스핀 코팅하여 제작하였다. PMMA 몰드에 PDMS 용액을 코팅하여 OLED 광추출 향상용 마이크로 렌즈를 제작하였다.

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