Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2011.07a
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- Pages.1511-1512
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- 2011
A fabrication of PDMS micro lens using PMMA micro mold
PMMA 마이크로 몰드를 이용한 PDMS 마이크로 렌즈의 제작
- Kim, Il-Young (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
- Min, Sang-Hong (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
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Kim, Hyun-Su
(Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
- Kim, Chang-Kyo (Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University) ;
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Yun, Tae-Uk
(Dept. of Electronic Information Engineering. Soonchunhyang University)
- 김일영 (순천향대 전자정보공학과) ;
- 민상홍 (순천향대 전자정보공학과) ;
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김현수
(순천향대 전자정보공학과) ;
- 윤태욱 (순천향대 전자정보공학과) ;
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김창교
(순천향대 전자정보공학과)
- Published : 2011.07.20
Abstract
마이크로 렌즈를 제작하기 위해 PMMA 몰드를 PMMA 용액을 MEMS 기술을 이용하여 제작한 실리콘 마이크로 홀 어레이에 PMMA 용액을 스핀 코팅하여 제작하였다. PMMA 몰드에 PDMS 용액을 코팅하여 OLED 광추출 향상용 마이크로 렌즈를 제작하였다.
Keywords