Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Fabrication and Measurement of the ID tag and temperature sensor using surface acoustic wave

표면탄성파를 이용한 ID tag, 온도 센서 제작 및 측정

  • Jo, Min-Uk (Division of Electronics & Computer Engineering, College of Information Technology, Ajou University) ;
  • Lee, Ki-Jung (Division of Electronics & Computer Engineering, College of Information Technology, Ajou University) ;
  • Song, Tae-Hyeon (Division of Electronics & Computer Engineering, College of Information Technology, Ajou University) ;
  • Yang, Sang-Sik (Division of Electronics & Computer Engineering, College of Information Technology, Ajou University)
  • Published : 2011.07.20
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Abstract

본 논문은 표면탄성파(Surface Acoustic Wave)의 특성을 이용하여 반사되어 돌아오는 피크 신호를 통해 개체를 식별하며 온도 변화에 따른 위상의 변화를 갖는 ID 태그 및 온도 센서의 제작공정과 네트워크 분석기를 이용한 측정에 대해 소개한다. 표면탄성파 마이크로센서는 IDT(interdigital trancducer)와 ID 번호를 갖는 리플렉터, 온도 변화에 따른 위상 변위를 관찰하기 위한 리플렉터로 구성된다. 제작된 두 개의 소자는 49(0110001), 113(1110001)의 ID 번호를 가지고 있으며, 1 us에서 기준신호를 관찰할 수 있도록 한 개의 리플렉터를 추가적으로 포함한다. 또한 온도 변화에 따른 전파 속도의 변화로 인해 발생 하는 위상 변화를 관찰하기 위한 리플렉터를 포함한다. $41^{\circ}$YX $LiNbO_3$ 압전기판, AZ1512 감광제, 알루미늄을 이용하여 제작 되었고 네트워크 분석기를 통해 출력된 신호로 ID 번호를 식별하고 $30^{\circ}C$에서 $120^{\circ}C$까지의 온도 변화에 따른 위상 변화를 측정하였다.

Keywords