한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.1519-1520
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
피코초 레이저를 이용한 사파이어의 다이싱에 관한 기초연구
Fundamental Study on Dicing Process using Picosecond Laser
- 신동식 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
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서정
(한국기계연구원 광응용기계연구실)
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조용권
(한국기계연구원 광응용기계연구실)
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최상규
(한국기계연구원 로봇메카트로닉스연구센터)
- Shin, D.S. ;
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Suh, J.
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Cho, Y.K.
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Choi, S.K.
- 발행 : 2011.06.01