Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.917-918
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A study on performance degradation of precision nanopositioning devices caused by tolerances

공차가 초정밀위치결정기구의 성능저하에 미치는 영향에 대한 연구

허재성 (한국항공우주연구원 회전익기사업단) ;
김기현 (특허청) ;
강동우 (삼성전자) ;
곽병만 (한국과학기술원)

Published : 2011.06.01

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