한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.869-870
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
펨토초 펄스 레이저를 이용한 대면적 형상측정 간섭계
Interferometry for precision large-surface profile measurement using femtosecond pulse laser
- 주우덕 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
- 김영진 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
- 김윤석 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
- 박지용 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
- 장윤수 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
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김승우
(KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단)
- Joo, W.D. (KAIST) ;
- Kim, Y.J. (KAIST) ;
- Kim, Y. (KAIST) ;
- Park, J.Y. (KAIST) ;
- Jang, Y.S. (KAIST) ;
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Kim, S.W.
(KAIST)
- 발행 : 2011.06.01