Interferometry for precision large-surface profile measurement using femtosecond pulse laser

펨토초 펄스 레이저를 이용한 대면적 형상측정 간섭계

  • 주우덕 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
  • 김영진 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
  • 김윤석 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
  • 박지용 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
  • 장윤수 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
  • 김승우 (KAIST 극초단광학 초정밀기술연구단)
  • Published : 2011.06.01