Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.785-786
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A study on the structural characteristics of Cold hollow cathode ion source for ion beam milling

이온빔 밀링을 위한 Cold hollow cathode ion source의 구조에 관한 연구

  • 최성창 (송도테크노파크 나노소재기술실) ;
  • 강인철 (송도테크노파크 나노소재기술실) ;
  • 한재길 (송도테크노파크 나노소재기술실)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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