한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.779-780
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2011
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

집속이온빔 밀링 가공의 3 차원 토포그래피 시뮬레이션

3D topography simulation of focused ion beam milling processes

맹상진 (연세대학교 기계공학과) ;
민병권 (연세대학교 기계공학과)

Maeng, S. ;
Min, B.K.

발행 : 2011.06.01

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