Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.779-780
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

3D topography simulation of focused ion beam milling processes

집속이온빔 밀링 가공의 3 차원 토포그래피 시뮬레이션

Maeng, S. ;
Min, B.K.

맹상진 (연세대학교 기계공학과) ;
민병권 (연세대학교 기계공학과)

Published : 2011.06.01

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Abstract

Keywords