Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.777-778
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of Micro Column for Electron Beam Lithography Equipment

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 (한국생산기술연구원 디지털협업센터) ;
김진석 (한국생산기술연구원 디지털협업센터) ;
김한수 (한국생산기술연구원 생산시스템연구부) ;
이동윤 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
이석우 (한국생산기술연구원 충청지역본부장)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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