피코초 레이저를 이용한 TSV 형성에 대한 연구

A Study of TSV Drilling Formation using Picoseconds Laser

  • 조용권 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 신동식 (한국기계연구원 광응용기계연구실)
  • 발행 : 2011.06.01