한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

레이저를 이용한 하이브리드 TSV 가공공정에 관한 연구

Study of TSV Drilling using Laser-based Hybrid Process

  • 신동식 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 조용권 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 이내응 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2011.06.01
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