Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.745-746
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study of TSV Drilling using Laser-based Hybrid Process

레이저를 이용한 하이브리드 TSV 가공공정에 관한 연구

신동식 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
서정 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
조용권 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
이내응 (성균관대학교 신소재공학과)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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