Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
  • /
  • Pages.741-742
  • /
  • 2011
  • /
  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Effect of post-annealing on the microstructure evolution of sputtered Bi-Te films

후열처리에 따른 Bi-Te 열전박막의 미세구조 연구

  • 전성재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 이후정 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 현승민 (한국기계연구원 나노역학연구실) ;
  • 오민섭 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2011.06.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

XRD 결과와 TEM 분석으로부터 열처리효과에 따른 Bi-Te 박막의 미세구조 변화를 확인하였다. $Bi_2Te_3$ 상이 $SiO_2$ 와 Bi-Te 박막의 경계면을 따라서 성장하였고 이는 열전성능에 중요한 영향을 미치는 것을 확인하였다.

Keywords