광경화성 수지의 국부적 점성 신장을 이용한 고세장비 마이크로 구조물 제작에 관한 기초공정 연구

A Study on the basic process for fabrication of high aspect ratio micro structure using partial viscous extension of photoresist

  • 김성진 (부산대학교 기계공학부) ;
  • 박상후 (부산대학교 정밀정형 및 금형가공연구소/기계공학부) ;
  • 이동규 (부산대학교 기계공학부) ;
  • 박인백 (부산대학교 기계공학부) ;
  • 이석희 (부산대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2011.06.01