Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.609-610
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Analysis Model of Micro-machining Process of a Metal Thin Film Using UV Laser (355nm)

UV 레이저(355nm)를 이용한 금속박막 미세가공 공정의 해석모델

  • 이정한 (부산대학교 기계공학부) ;
  • 오재용 (부산대학교 정밀정형 및 금형가공 연구소) ;
  • 박상후 (부산대학교 기계공학부) ;
  • 신보성 (부산대학교 정밀정형 및 금형가공 연구소)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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