Fabrication of multi-connected ZnO nanowire pattern using hybrid process

하이브리드 공정을 이용한 다중 연결 ZnO 나노와이어 패턴 제작

  • 이지혜 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 이원석 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 박인규 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 최대근 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 이응숙 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 정준호 (한국기계연구원 나노공정장비연구실)
  • Published : 2011.06.01