Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
/
Pages.541-542
/
2011
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Motion Feedthrough using Air Bearing in Vacuum

공기베어링을 이용한 진공환경 운동전달용 피드스루

김경호 (한국기계연구원 나노융합시스템연구본부 초정밀시스템연구실) ;
박천홍 (한국기계연구원 나노융합시스템연구본부 초정밀시스템연구실) ;
황주호 (한국기계연구원 나노융합시스템연구본부 초정밀시스템연구실)

Published : 2011.06.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords