Testing the new equation for Step-diagonal Measurement Method

스텝대각오차 측정법의 오차 보정

  • 부이바친 (과학기술연합대학원 나노메카트로닉스학과) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이찬홍 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
  • Published : 2011.06.01