Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.495-496
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of Wafer Accurate Transfer System for LED Application using Pneumatic actuator

공압 액추에이터를 적용한 LED용 Wafer 정밀 공급 시스템 개발

오진오 (금오공과대학교 기계공학과) ;
윤성호 ((주)비테크) ;
박지혜 ((주)비테크) ;
김광철 ((주)비테크) ;
백승호 ((주)비테크)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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