한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.233-234
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2011
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

랭핑공정의 헤드가압방식에 따른 사파이어 웨이퍼 형상 변화 특성 연구

Study on the Effect of a Pressurizing Head on the Shape of a Wafer in Mechanical Lapping of Sapphire

이태경 (한국생산기술연구원) ;
김형재 (한국생산기술연구원) ;
이상직 (한국생산기술연구원) ;
김도연 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교)

발행 : 2011.06.01

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