Effect of Tool Wear for Machining Micro Pattern on Large Surface

대면적 미세패턴가공에서 공구마모가 패턴형상에 미치는 영향

  • 박언석 (과학기술연합대학원대학교) ;
  • 최환진 (과학기술연합대학원대학교) ;
  • 제태진 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 전은채 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 이응숙 (한국기계연구원 나노공정장비연구실)
  • Published : 2011.06.01