한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.179-182
- /
- 2011
- /
- 2005-8446(pISSN)
감광물질의 열적 reflow를 이용한 MEMS 응용에서의 접합 공정
Photoresist Thermal Reflow Bonding for MEMS Application
- Im, S. ;
-
Kang, H.W.
;
- Yoon, S.Y. ;
-
Sung, H.J.
- 발행 : 2011.06.01