초소형 마이크로 적외선 센서의 다중물리 해석

Multiphysics Analysis of Microbolometer with Small Pixel Size

  • 김태현 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 김경민 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 박재홍 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 경기명 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 이태중 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 김희연 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀)
  • 발행 : 2011.06.01

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과제정보

연구 과제 주관 기관 : 한국연구재단