Micromachining of glasses using an ultrashort pulse laser

극초단 펄스 레이저를 이용한 유리 미세 가공

  • 최지연 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 이제훈 (한국기계연구원 광응용기계연구실)
  • Published : 2011.06.01