레이저를 이용한 열 저항체 트리밍에 대한 연구

A study on Laser Trimming of a micro IR-Heater

  • 이용현 (강남대학교 전자공학과) ;
  • 유승열 (한국기술교육대학교 기계정보공학부)
  • 발행 : 2011.06.01