Numerical Simulation of Radial Rotational Error of Rotary Air Bearing Table

설계단계에서 공기정압베어링 회전테이블의 반경방향 회전정밀도 예측에 관한 연구

  • 심종엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
  • 황주호 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실)
  • Published : 2011.06.01