한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

LM 스테이지의 5 자유도 운동오차 예측 및 실험적 검증

Prediction and Experimental Verification of 5 DOF Motion Errors of LM Stage

  • 김경호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 오정석 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 발행 : 2011.06.01
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