Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.129-130
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Prediction and Experimental Verification of 5 DOF Motion Errors of LM Stage

LM 스테이지의 5 자유도 운동오차 예측 및 실험적 검증

  • 김경호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 오정석 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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