공기스프링과 압전구동기를 이용한 제진대의 능동 제어 방법

Method of Active Control for Vibration Isolation Table using Air-Spring and Piezo Actuator

  • 안채헌 (한국생산기술연구원) ;
  • 임경화 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) ;
  • 이규섭 (알엠에스 테크놀러지)
  • 발행 : 2011.06.01