한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.39-40
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- 2011
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- 2005-8446(pISSN)
웨이퍼 비열 가공을 위한 고출력 펨토초 펄스 레이저 시스템
High Power Femtosecond Pulse Laser System for Non-thermal Wafer Dicing
- 한승회 (한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
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김윤석
(한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단)
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- 김승만 (한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
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박상욱
(한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단)
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- 박지용 (한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단) ;
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김승우
(한국과학기술원(KAIST) 극초단광학 초정밀기술연구단)
- Han, S.H. (KAIST) ;
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Kim, Y.S.
(KAIST)
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- Kim, S.M. (KAIST) ;
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Park, S.
(KAIST)
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- Park, J. (KAIST) ;
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Kim, S.W.
(KAIST)
- 발행 : 2011.06.01