Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2011.02a
/
Pages.353-353
/
2011

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

고정밀 밀도측정기 개발 연구

유신재 (한국표준과학연구원) ;
김정형 (한국표준과학연구원) ;
성대진 (한국표준과학연구원) ;
신용현 (한국표준과학연구원) ;
김대웅 (한국표준과학연구원)

Published : 2011.02.09

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

본발표는 공정용 플라즈마 플라즈마 밀도측정에 있어 정확하기로 알려져 있는 컷오프 프로브의 작동원리 및 개발 현황에 대한 review를 함.

Keywords

컷오프 프로브;