한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- Pages.313-313
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- 2011
RF-magnetron spuuttering법을 이용하여 제작한 $SiO_2$ , $TiO_2$ 박막의 초친수 특성 분석
- 정찬수 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 장지원 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 김동영 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 배강 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 홍우표 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 손선영 (대구가톨릭대학교 전자공학과) ;
- 김화민 (대구가톨릭대학교 전자공학과)
- Jeong, Chan-Su ;
- Jang, Ji-Won ;
- Kim, Dong-Yeong ;
- Bae, Gang ;
- Hong, U-Pyo ;
- Son, Seon-Yeong ;
- Kim, Hwa-Min
- 발행 : 2011.02.09
초록
일반적으로 초친수 박막들은 물의 퍼짐 현상이 발생하여 빠른 건조와 함께 표면에 붙은 이물질 제거와 공기 중의 미세먼지를 흡착을 하지 않음으로써 표면에 워터스폿(water spot, 물자국)이 생기지 않고 다시 깨끗해지는 자가세정 능력을 가져 유리 및 건축자재의 표면처리 용도로써 많이 사용하고 있다. 이러한 초친수 박막을 제조하는 방법으로는 sol-gel법, 진공 증착법, 화학 기상 증착법, 스퍼터링법 등을 이용한다. 이중 스퍼터링법은 높은 증착속도를 얻을 수 있으며, 비교적 낮은 진공도에서 박막제작을 할 수 있다는 장점을 가진다. 본 실험은 RF-magnetron sputtering법을 이용하여 화학적으로 매우 안정하고 높은 투과율을 가지며 기계적 표면 경도가 우수하여 코팅용 박막으로 널리 이용되고 있는