Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Comparison of Plasma Jets between Two Electrode-Structures of Cylindrical Needle and Cup

  • 정종윤 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 한상호 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 김동준 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 김정현 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 김윤중 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 김중길 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 조광섭 (광운대학교 전자물리학과)
  • Published : 2011.02.09
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Abstract

바늘형 전극과 컵형 전극을 사용한 대기압 플라즈마 제트 장치의 플라즈마 분출 특성을 조사한다. 바늘형 전극은 원통형 주사기 바늘을 사용하였다. 컵형 전극은 냉음극 형광 램프의 전극을 사용하였다. 방전 가스는 Ar을 사용하고 가스의 유량은 3 lpm이다. 구동 전원은 DC-AC 인버터를 사용하고 구동 주파수는 40 kHz이다. 방전 전압-전류 특성과 전류별 플라즈마 방출 길이를 측정한 결과, 원통형 바늘보다 컵형 전극이 방전 개시 전압이 낮았으며 동일 전류에서 플라즈마 방출 길이가 더 길다.

Keywords