한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- Pages.224-225
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- 2011
14.5 GHz 전자 사이클로트론 공명 이온원을 사용한 다가(multi-charged) 이온빔 인출
- 진정태 (한국원자력연구원) ;
- 서창석 (한국원자력연구원) ;
- 오병훈 (한국원자력연구원) ;
- 이광원 (한국원자력연구원) ;
- 인상렬 (한국원자력연구원) ;
- 장대식 (한국원자력연구원) ;
- 정승호 (한국원자력연구원) ;
- 황철규 (한국원자력연구원)
- Jin, Jeong-Tae ;
- Seo, Chang-Seok ;
- O, Byeong-Hun ;
- Lee, Gwang-Won ;
- In, Sang-Ryeol ;
- Jang, Dae-Sik ;
- Jeong, Seung-Ho ;
- Hwang, Cheol-Gyu
- 발행 : 2011.02.09
초록
전자 사이클로트론 공명 이온원(Electron Cyclotron Resonance Ion Source; ECR 이온원)을 사용하여 다가(multi-charged) 이온빔을 인출하고 이온들을 분리하였다. 사용된 ECR 이온원은 그림 1과 같은 구조를 가진다. 그림 1에서 축자장을 만드는 자석(axial magnet)은 세 뭉치의 상전도 전자석으로, 그리고 육극자장을 만드는 자석(hexapole magnet)은 영구자석으로 되어 있으며 14.5 GHz 고주파는 도파관을 통하여 용기의 축과 평행한 방향으로 입사된다. 헬륨, 아르곤, 메탄(CH4), 이산화탄소(CO2)를 사용하여 빔 인출 및 이온 분리 실험을 진행하였으며, 본 논문에서는 운전조건의 최적화 과정을 수행하기 전에 진행된 초기 실험결과들에 대하여 논의한다. 그림 2는 헬륨을 사용한 경우의 질량 스펙트럼이다.