Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.02a
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- Pages.177-177
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- 2011
Sol-gel 법으로 제작된 $ZrO_2$ 박막의 분광타원편광분석 연구
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Kim, Tae-Jung
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Yun, Jae-Jin
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- Hwang, Sun-Yong ;
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Kim, Yeong-Dong
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- Hwang, Su-Min ;
- Lee, Seung-Muk ;
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Ju, Jin-Ho
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김태중
(경희대학교 물리학과 및 나노광물성연구실) ;
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윤재진
(경희대학교 물리학과 및 나노광물성연구실) ;
- 황순용 (경희대학교 물리학과 및 나노광물성연구실) ;
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김영동
(경희대학교 물리학과 및 나노광물성연구실) ;
- 황수민 (성균관대학교 신소재공학과) ;
- 이승묵 (성균관대학교 신소재공학과) ;
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주진호
(성균관대학교 신소재공학과)
- Published : 2011.02.09
Abstract
Complementary metal-insulator-metal capacitor에서