Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2011.02a
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- Pages.175-175
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- 2011
VWOx 볼로미터 센서 박막의 특성 연구
- Kim, Jin-Hyeok ;
- Sin, Gwang-Su ;
- Kim, Hyo-Jin ;
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Go, Hang-Ju
;
- Nam, Seong-Pil ;
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Lee, Seong-Gap
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Han, Myeong-Su
- 김진혁 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 신광수 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 김효진 (한국광기술원 광에너지연구센터) ;
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고항주
(한국광기술원 광에너지연구센터) ;
- 남성필 (경상대학교) ;
-
이성갑
(경상대학교) ;
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한명수
(한국광기술원 광에너지연구센터)
- Published : 2011.02.09
Abstract
인체감지 적외선 센서로 사용되는 마이크로볼로미터 센서 감지재료인