한국콘텐츠학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korea Contents Association Conference)

한국콘텐츠학회 (The Korea Contents Association)
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주사 전자 현미경의 보정작업을 위한 메타 휴리스틱 알고리즘

Meta Heuristic for Calibration of Scanning Electron Microscope

  • 발행 : 2011.05.20
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초록

주사전자현미경은 시편의 표면형상을 수 nm의 정밀도로 관찰할 수 있는 측정 장비로, 과학 기술 및 산업 분야에서 널리 사용되고 있다. 이러한 주사현미경은 30여종 이상의 변수조합에 의해 운영되며, 정상적인 영상을 관찰하기 위해서는 변수를 최적화하는 보정작업을 필요로 한다. 본 논문에서는 이러한 보정작업을 용이하게 하기 위한 메타 휴리스틱 기법을 소개한다.

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