Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.08a
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- Pages.256-256
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- 2010
Structural and Electrical Transport Properties of Zn Doped CuCrO2 by Pulsed Laser Deposition
- Kim, Se-Yun ;
- Seong, Sang-Yun ;
- Chu, Man ;
- Jo, Gwang-Min ;
- U, Jin-Gyu ;
- Lee, Jun-Hyeong ;
- Kim, Jeong-Ju ;
- Heo, Yeong-U
- 김세윤 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 성상윤 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 추만헝 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 조광민 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 우진규 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 이준형 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 김정주 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과) ;
- 허영우 (경북대학교 신소재공학부 전자재료공학과)
- Published : 2010.08.18
Abstract
투명전극부터 디스플레이 산업에 이르기까지 광범위하게 응용되어지고 있고 개발되어지고 있는 투명전도산화물(TCO)은 ZnO, In2O3, SnO2 등을 기본으로 하는 n-type 재료가 대부분이다. 그러나 투명전도 산화물을 이용한 light emitting diode(LED), 투명한 태양전지, p-형 TFT와 같은 투명전자소자의 개발을 위해서는 p-type 소재가 필수적이다. p-type TCO 소재는 비교적 연구 개발 실적이 매우 부진한 실정이었다. 1997년 넓은 밴드갭을 가지는 ABO2(delafossite) 산화물이 p-type으로서 안정적이라는 것을 보고함에 따라 이에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 현재 ABO2 형태를 가진 Delafossite구조 산화물이 가장 유망한 p-type 투명전도체 소재로 거론되고 있다. Delafossite 구조가 p-type 투명전도체에 적합한 결정구조인 이유는 밴드갭이 넓고 공유결합에 유리하기 때문이다. Delafossite구조는 상온에서 2종류의 polytype(상온에서 Rhombohedaral구조와 hexagonal 구조)이 존재하며 이들은 각각 3R 및 2H의 결정 구조를 가지고 있다. ABO2의 delafossite구조에서 Cu+의 배열은 c-축을 따라 Cu-O-Cr-O-Cu의 연속적인 층 구조로서 2차원연결로 보여 진다. 보고된 Cu- base delafossite구조를 가지는 재료들은 CuAlO2, CuGaO2, CuInO2 등 여러가지가 있다. 본 연구에서는 PLD를 이용하여 c-plane 사파이어 기판위에 성장된 delafossite구조인 CuCrO2박막의 특성을 알아보았다. p-type 특성을 위하여 CuCrO2에 Zn를 첨가하였으며 그에 따른 구조적 전기적 특성을 조사하였다. 성장온도와 산소분압을
Keywords