Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.08a
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- Pages.163-163
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- 2010
InSb 적외선 감지 소자용 $Si_3N_4$ , $SiO_2$ 절연막 계면 특성 연구
- Park, Se-Hun ;
- Lee, Jae-Yeol ;
-
Kim, Jeong-Seop
;
- Kim, Su-Jin ;
- Seok, Cheol-Gyun ;
- Yang, Chang-Jae ;
-
Park, Jin-Seop
;
-
Yun, Ui-Jun
- 박세훈 (서울대학교 재료공학부) ;
- 이재열 (서울대학교 재료공학부) ;
-
김정섭
(서울대학교 재료공학부) ;
- 김수진 (서울대학교 재료공학부) ;
- 석철균 (서울대학교 재료공학부) ;
- 양창재 (서울대학교 재료공학부) ;
-
박진섭
(서울대학교 재료공학부 WCU 하이브리드 재료) ;
-
윤의준
(서울대학교 재료공학부)
- Published : 2010.08.18
Abstract
중적외선 영역 (
Keywords