Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Spectrum Analyzer를 통한 미세 방전 플라즈마 밀도측정

  • 조태훈 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 윤명수 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 박인규 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 유하진 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 최은하 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 조광섭 (광운대학교 전자물리학과) ;
  • 권기청 (광운대학교 전자물리학과)
  • Published : 2010.08.18
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

일반적인 플라즈마의 밀도측정에는 랑뮤어(Langmuir)탐침법이 보편적으로 사용되고 있다. 그러나 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel) 등 미세 방전 플라즈마는 이러한 방법으로는 측정이 너무 어려워서 잘 사용되지 않고 있다. 그래서 이러한 경우 간접측정 방법이 사용되고 있다. 본 연구에서는 알려진 간접 측정방법과는 다른 방식인 spectrum analyzer를 사용하여 측정해 보았다. LCD에서 사용되는 BLU(Back Light Unit)lamp와 PDP panel을 각각 측정하여 기존의 간접측정 방법의 결과와 비교해 보았다.

Keywords