Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2010.08a
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- Pages.116-116
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- 2010
내장형 무선 카메라를 이용한 high vacuum system 내부 실시간 모니터링
- Choe, Ji-Seong (PMRC) ;
- Hong, Gwang-Gi (PMRC) ;
- Yang, Won-Gyun (PMRC) ;
- Ju, Jeong-Hun (PMRC)
- 최지성 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터) ;
- 홍광기 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터) ;
- 양원균 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터) ;
- 주정훈 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터)
- Published : 2010.08.18
Abstract
진공 chamber에서 방전된 plasma 내부를 외부 view port를 통하여 확인하는 것은 극히 제한적이며 leak의 확률을 높이고 plasma의 균일한 방전을 방해한다. 이를 개선하기 위하여 내장형 무선 카메라를 chamber 내부에 위치한 후 고진공 영역에서 촬영을 시도하였으나 일반적인 CCD 카메라로는 촬영할 수 없다. 고진공 영역에서 카메라 내부온도의 급격한 상승이 원인으로 밝혀졌고 적정온도인
Keywords