한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.391-392
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
나노급 위치결정기구의 변형율 예측과 거동특성
Evaluation of driving characteristics and strain for Nano-Postioning Mechanism
- Kwak, N.S. ;
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Kim, J.Y.
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- Park, D.K. ;
- Lee, G.
- 발행 : 2010.11.11