Viscoelastic Analysis and Experimental Study of Polymer Deformation in Thermal Imprint Process of Micro Patterns

열 임프린트 미세성형을 위한 폴리머 소재의 점탄성 해석 및 실험적 고찰

  • 김홍석 (서울과학기술대학교 기계공학과) ;
  • 박희수 (서울과학기술대학교 기계공학과)
  • Published : 2010.11.11