한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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- Pages.58.2-58.2
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- 2010
이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정개발에 대한 연구
- 김민수 (한양대학교 바이오나노학과) ;
- 김혁민 (한양대학교 바이오나노학과) ;
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강봉균
(한양대학교 바이오나노학과) ;
- 이승호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
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조병준
(한양대학교 재료공학과) ;
- 정지현 (한양대학교 재료공학과) ;
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박진구
(한양대학교 재료공학과)
- Kim, Min-Su ;
- Kim, Hyeok-Min ;
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Gang, Bong-Gyun
;
- Lee, Seung-Ho ;
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Jo, Byeong-Jun
;
- Jeong, Ji-Hyeon ;
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Park, Jin-Gu
- 발행 : 2010.05.13
초록
FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수