Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2010.05a
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- Pages.1033-1034
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
A Study on the Electrical Detection Method of Probing Error inWafer Test Line
Wafer Test 공정에서 Probing error 의 전기적 검출 방법에 관한 연구
- Kim, Y.S. (SSIT) ;
- Kim, K.H. ;
- Kang, I.G. ;
- Jung, H.H. ;
- Park, H.H.
- 김윤수 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
- 김광현 (삼성반도체 Test 기술그룹) ;
- 강인구 (삼성반도체 Test 기술그룹) ;
- 권대성 (삼성반도체 Test 기술그룹) ;
- 박현호 (삼성반도체 R/&D Center)
- Published : 2010.05.26