A Study on Characteristics of Piezo-Amplifier for a Stack-type Piezoelectric Element

적층형 압전소자용 구동앰프 특성연구

  • 최기봉 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부 나노공정장비연구실) ;
  • 신은주 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부 나노공정장비연구실) ;
  • 텐 알렉세이 대성 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부 나노공정장비연구실) ;
  • 안현진 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부 나노공정장비연구실)
  • Published : 2010.05.26