Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.933-934
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on Basic Characteristics of Piezoelectric Actuator for Driving Nanoscale Stamp

나노스템프 구동용 압전액추에이터 기본특성에 관한 연구

박중호 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부) ;
이후승 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부) ;
이재종 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
최기봉 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
윤소남 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부)

Published : 2010.05.26

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