Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
  • /
  • Pages.781-782
  • /
  • 2010
  • /
  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Measurement of 3D surface profile using astigmatism

비점수차를 이용한 3차원 표면형상의 측정

  • 강주식 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ;
  • 김재완 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ;
  • 김종안 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ;
  • 엄태봉 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ;
  • 진종한 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ;
  • 이종웅 (청주대학교 레이저광정보공학과)
  • Published : 2010.05.26
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords