Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
  • /
  • Pages.719-720
  • /
  • 2010
  • /
  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Effects of process conditions on the adhesion properties between polydimethylsiloxane (PDMS) and silicon substrate

PDMS 와 실리콘 기판 사이의 점착 특성에 대한 공정 조건의 영향

  • 김광섭 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템 연구본부) ;
  • 장봉균 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템 연구본부) ;
  • 최현주 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템 연구본부) ;
  • 김재현 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템 연구본부) ;
  • 이학주 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템 연구본부)
  • Published : 2010.05.26
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords